Mescidin yeri kesin olarak bilinmiyorsa da bugünkü Selimiye Kışlası'nın bulunduğu yerde olması kuvvetle muhtemeldir. Sadrazam, Damat İbrahim Paşa zamanında Şemsi Paşa semtindeki Şerefâbâd Kasrı yeniden inşa edilirken yaptırılan su yollarını gösteren 18 metrelik haritada, bu sarayın ve mescidin resimleri görülmektedir. Resimdeki bir ve iki katlı ahşap yapıların sağ tarafındaki tek kubbeli ve minareli mabet, Kavak Sarayı Mescidi'dir. Kesme taştan yapılmış olan mescidin inşa tarihi bilinmemekle beraber, Sultan I. Ahmet devrinde (1603-1617) ve tahminen 1614 tarihlerinde yapılmış olduğu söylenebilir.